在真空鍍膜、半導(dǎo)體外延生長等需要真空環(huán)境的工業(yè)工藝中，模溫機(jī)的工作原理和技術(shù)實(shí)現(xiàn)面臨特殊挑戰(zhàn)。為滿足真空環(huán)境的嚴(yán)苛要求，模溫機(jī)在結(jié)構(gòu)設(shè)計、傳熱方式和密封技術(shù)等方面都需要進(jìn)行針對性優(yōu)化。
真空環(huán)境下，模溫機(jī)無法依靠空氣對流進(jìn)行散熱，因此采用液體循環(huán)冷卻成為主要方式。其工作原理是通過封閉循環(huán)的導(dǎo)熱介質(zhì)（如高純度硅油）將模具熱量傳遞至外部換熱器，再利用水冷或風(fēng)冷進(jìn)行二次散熱。由于真空環(huán)境的特殊性，導(dǎo)熱介質(zhì)需要具備極低的飽和蒸氣壓，避免在真空狀態(tài)下?lián)]發(fā)污染真空腔室。同時，循環(huán)泵需采用無油真空隔膜泵，防止?jié)櫥托孤┯绊懻婵斩取?/span>
在結(jié)構(gòu)設(shè)計上，真空模溫機(jī)采用全焊接密封結(jié)構(gòu)，避免采用傳統(tǒng)的螺紋連接或法蘭連接，減少泄漏風(fēng)險。設(shè)備外殼采用高強(qiáng)度不銹鋼材質(zhì)，并進(jìn)行精密拋光處理，降低表面粗糙度，防止氣體吸附和殘留。例如，在半導(dǎo)體芯片制造的真空鍍膜工序中，模溫機(jī)的密封性能需達(dá)到 10?? Pa?m3/s 的超高真空標(biāo)準(zhǔn)，確保真空腔室的潔凈度不受影響。
溫度控制方面，真空模溫機(jī)采用高精度的 PID 控制算法，并結(jié)合前饋補(bǔ)償技術(shù)。由于真空環(huán)境下熱傳導(dǎo)效率較低，系統(tǒng)需要提前預(yù)測溫度變化趨勢，及時調(diào)整加熱和冷卻功率。同時，為避免加熱器在真空環(huán)境中因散熱困難導(dǎo)致局部過熱，采用分布式加熱設(shè)計，將加熱元件均勻布置在導(dǎo)熱介質(zhì)管路中，確保溫度均勻性。
蘇州新久陽機(jī)械針對真空環(huán)境研發(fā)的專用模溫機(jī)，在技術(shù)上突破多項(xiàng)難題。其產(chǎn)品配備真空泄漏檢測系統(tǒng)，可實(shí)時監(jiān)測設(shè)備密封狀態(tài)；采用低溫蒸發(fā)抑制技術(shù)，有效降低導(dǎo)熱介質(zhì)的揮發(fā)量。這些技術(shù)創(chuàng)新使蘇州新久陽機(jī)械的真空模溫機(jī)廣泛應(yīng)用于航空航天、光伏產(chǎn)業(yè)等高端領(lǐng)域，為真空環(huán)境下的精密加工提供可靠的溫度控制保障。
